電子潔凈實(shí)驗(yàn)室施工的關(guān)鍵環(huán)節(jié)
潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)施工
墻體與吊頂:彩鋼板拼接需無(wú)縫密封,陰陽(yáng)角采用圓弧處理減少積塵。
門(mén)窗:氣密型設(shè)計(jì),帶閉門(mén)器和雙層玻璃觀察窗。
通風(fēng)與過(guò)濾系統(tǒng)安裝
風(fēng)管采用不銹鋼或鍍鋅鋼板,內(nèi)壁光滑防積塵。
HEPA/ULPA過(guò)濾器安裝前需進(jìn)行泄漏測(cè)試(如PAO/DOP法)。
壓差控制:不同潔凈區(qū)域壓差梯度≥5Pa(如核心區(qū)>緩沖區(qū)>普通區(qū))。
電氣與自控系統(tǒng)
照明采用嵌入式潔凈燈,無(wú)塵、防爆設(shè)計(jì)。
智能化監(jiān)控系統(tǒng):實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)顆粒物、溫濕度、壓差、能耗等數(shù)據(jù)。
備用電源:UPS或發(fā)電機(jī)保障關(guān)鍵設(shè)備持續(xù)運(yùn)行。
管道與輔助設(shè)施
純水、超純水系統(tǒng):管路材質(zhì)為PVDF或316L不銹鋼,循環(huán)防死水。
廢氣處理:酸性/有機(jī)廢氣通過(guò)洗滌塔或活性炭吸附處理。
真空、壓縮空氣系統(tǒng):終端配置高精度過(guò)濾器。
通過(guò)以上施工,可確保電子潔凈實(shí)驗(yàn)室滿(mǎn)足精密電子制造與研發(fā)的嚴(yán)苛要求,同時(shí)兼顧效率與成本。建議委托專(zhuān)業(yè)潔凈工程公司進(jìn)行EPC總包(設(shè)計(jì)-采購(gòu)-施工一體化),減少多方協(xié)調(diào)風(fēng)險(xiǎn)。
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